Ejeksi materi dari permukaan yang padat atau cair yang mengikuti dampak dari ion energik, atom atau molekul. Sputtering pertama tercatat pada tahun 1853 oleh W. R. Grove dan pada 1854 oleh M. Faraday sebagai terjadinya lapisan logam pada dinding-dinding kaca tabung lucutan. E. Goldstein pada tahun 1902 menunjukkan bahwa tergagap-gagap efek yang disebabkan oleh ion positif lucutan mencolok katoda dan mendepak material katoda. Tergagap-gagap sekarang adalah dasar dari berbagai besar metode untuk sintesis dan analisis bahan.